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日本加野Kanomax 3950 超小型粒子計(jì)數(shù)器

瀏覽次數(shù):989更新日期:2020-04-13

加野Kanomax 3950 超小型粒子計(jì)數(shù)器

重視可視性,大畫面,觸摸屏顯示器,可在附帶軟件上顯示測試數(shù)據(jù)
雙通道: 0.1um0.3um
額定流量:2.83umin
通過實(shí)現(xiàn)超小型化設(shè)計(jì),使粒子計(jì)數(shù)器嵌入裝置設(shè)備成為可
0.1 um測量
4.3英寸彩色液晶
標(biāo)配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度輕量化
以往的尺寸很難嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中,
本產(chǎn)品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設(shè)備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>



應(yīng)用范圍
作為傳感器嵌入到設(shè)備裝置中
潔凈室的清潔度管理
高清潔度區(qū)域的管理

加野Kanomax 3950 超小型粒子計(jì)數(shù)器

測試方法光散亂
粒徑區(qū)分2粒徑(0.1,0.3um)
額定流量0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)
測量時(shí)間6秒~99分59秒(1次測量時(shí)間)
間隔時(shí)間6秒~99分59秒(測量周期)
采樣次數(shù)1~999回或 連續(xù)測試
地點(diǎn)區(qū)分99個(gè)地點(diǎn)
測量格式重復(fù),單次,連續(xù),計(jì)算,1S0,GB*(共6種模式)
測量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間1~10秒
測量數(shù)據(jù)顯示計(jì)數(shù)累計(jì)值三,超過設(shè)定設(shè)定值時(shí)蜂鳥器報(bào)警
zui大可測濃度10,000,000個(gè)m
計(jì)數(shù)效率50土20%(相對于zui小可測粒徑附近的標(biāo)準(zhǔn)粒子)
100士108(相對于zui小可測粒徑的1.5倍-2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921和1S021501-4)
偽計(jì)數(shù)1/35min 以下
粒徑分解能15%以下(相對0.3um的PSL粒子)
(符合JIS B9921和 IS021501-4)
采樣源自帶泵
顯示器4.3英寸彩色液品,觸摸屏顯示器
記錄媒體本體:USB(Host可對于打印機(jī),USB內(nèi)存使用,、Device可對于鏈接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)
媒體:內(nèi)存
記錄數(shù)、格式:zui大10,000個(gè),CSV格式
顯示語言英語,日語
電源AC 100~240 V
使用環(huán)境15~35'C,0~85%RH(無冷凝)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重量3.4kg

 

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